Oxide Sputtering Targets

 

Shape: discs, plate, rod, tube, sheet, Delta, and per drawing 

 

Spec.: 

Diameter: 355.6mm (14") max. 

Single piece Size: Length: <500mm, Width: <250mm, Thickness: >1mm,

 if larger size than this, we can do it as tiles joint by 45 degree or 90 degree.

 

Made sputtering targets method: hot pressing (HP), hot/cold isostatic pressing (HIP, CIP), and vacuum melting, vacuum sintering

 

Material Name

Purity Composition)

 Al2O3

 99.8%, 99.99%

Al2O3-ZnO (AZO)

99.99%, 2-98wt%

 Sb2O3

 99.9%

Sb2O3-SnO2 (ATO)

99.99%, 90/10wt%, made per requested

 Cr2O3

 99.9%

 CuO, Cu2O

 99.9%

 CeO2

 CeO2/TREO>99.99%, TREO: 99%

 Dy2O3

 Dy2O3/TREO>99.5%, 99.9%, TREO: 99%

 Eu2O3

 Eu2O3/TREO>99.99%, TREO: 99%

 Er2O3

 Er2O3/TREO>99.9%,  TREO: 99%

 GeO2

 99.9%

 Gd2O3

 Gd2O3/TREO: 99.99% TREO: 99%

 Ho2O3

 Ho2O3/TREO>99.9%, TREO: 99%

 HfO2

 99.5%

HfO2-Y2O3

99.99%, 85/15wt%, made per requested

 Fe3O4, FeO, Fe2O3

 99.9%

 In2O3

 99.9%

In2O3-ZnO

99.99%, 90/10wt%, made per requested

 La2O3

 La2O3/TREO:99.99%, TREO: 99%

 Lu2O3

 Lu2O3/TREO>99.99% TREO: 99%

 MgO

 99.99%

MoO3

99.5%

 NiO

 99.9%

 Nb2Ox, Nb2O5

 99.99%

 Nd2O3

 Nd2O3/TREO>99.5%, 99.995%, TREO: 99%

 Pr6O11

 Pr6O11/TREO>99.5%, 99.99%, TREO: 99%

 Sm2O3

 Sm2O3/TREO>99.99%, TREO: 99%

 SiO, SiO2

 99.99%

 Sc2O3

 Sc2O3/TREO>99.99%, 99.999%, TREO: 99%

 Tb4O7

 Tb4O7/TREO>99.95%,  99.99% TREO: 99%

 Ta2O5

 99.99%

Ta2O5-Er2O3

99.9%, 95/5wt%, made per requested

 TiO, TiO2, Ti3O5, Ti2O3

 99.5%

 Tm2O3

 Tm2O3/TREO> 99.99% TREO: 99%

 SnO2, SnO

 99.9%

In2O3-SnO2

99.99%, 90/10wt%, 95/5wt%, made per requested

WO3

99%

WO3-Al

99.9%, 90/10wt%, made per requested

WO3-Li

99.9%,97/3wt%, made per requested

 Yb2O3

 Yb2O3/TREO>99.99% TREO: 99%

 Y2O3

 Y2O3/TREO>99.99% TREO: 99%

ZrO2-Y2O3 (YSZ)

99.95%, 85/15wt%, made per requested

 ZrO2

 99.5%

 ZnO

 99.99%

Ga2O3-ZnO (GZO)

99.99%, 90/10wt%, made per requested

In2O3-Ga2O3-ZnO (IZGO)

99.99%, 95/5/5at%, made per requested

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